硅片清洗如何 硅片的清洗方法

   发布日期:2022-08-07 16:43:51     手机:https://m.haocat.cn/zonghe/news31481.html    违规举报
核心提示:1、首先去除硅片表面的有机沾污,因为有机物会遮盖部分硅片表面,从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除;2、然后溶解氧化膜,因为氧化层是“沾污陷阱”,也会引入外延缺陷;最后再去除颗粒、金属等沾污,同时使硅片表面钝化。

硅片清洗如何 硅片的清洗方法

1、首先去除硅片表面的有机沾污,因为有机物会遮盖部分硅片表面,从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除;

2、然后溶解氧化膜,因为氧化层是“沾污陷阱”,也会引入外延缺陷;最后再去除颗粒、金属等沾污,同时使硅片表面钝化。

 
 
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